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运用
六氟乙烷可用以一种具多用途的蚀刻加工技术性,多见于半导体材料之生产制造。它可用以金属材料硅化物及氢氧化物并相对性其金属材料栽培基质的可选择性蚀刻加工。叧外,它亦用以蚀刻加工硅上的二氧化硅。
六氟乙烷可连着三氟甲烷一起用以冷媒R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。